在电子显微镜和电子束量测设备的使用中，外部磁场干扰常常成为影响设备效能的关键问题。而主动式消磁器的出现，为解决这一难题提供了强有力的方案。目前，市面上主要有 SC22、SC24 和 SC26 三种型号的主动式消磁器，它们各具特色，适用于不同的场景。

一、SC22：经典实用之选

SC22 作为第四代磁场消除系统，是继 SC12 的加强版，在全世界的安装数量已超过 1000 台，可见其受欢迎程度。它的主要功能特点是能够消除 AC 交流磁场，磁场变化反应时间小于 100 微秒，操作介面为按键式 LCD 彩色面板。

在使用场景方面，SC22 典型安装于 SEM 上。磁场感测探头需放置在电子束柱的底部附近效果显著，可另外选配特制探头底座固定在柱子上。减少磁场的能量多寡由系统的线圈回路增益多寡决定，该系统不会消除地球及房间各处的直流磁场。SC22 控制控制器在 LCD 面板上显示 X，Y 和 Z 方向磁影响幅度和总矢量场，单位可以选择特斯拉和高斯、RMS 和 pk - pk。主动式消磁系统可以解决 1μG（100pT）的场。

需要注意的是在电子束量测设备安装中的机械振动、声学噪声和接地回路产生类似于的成像干扰，SC22 无法改善，因为它们不是磁场。

二、SC24：性能升级之选

SC24 同样是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。它是 SC20 的加强版，SC20 在全世界的安装数量已超过 400 台。SC24 的功能特点在于能够消除 AC 交流磁场和 DC 直流磁场，磁场变化反应时间同样小于 100 微秒，操作介面为触控式 LCD 彩色面板。

SC24 的使用场景较为广泛。消磁方法是产生一个宽频类比的反向回馈，内部微电脑控制系统产生反向磁场，并籍由数位信号处理量测磁场强度。它可以安装 1 或 2 个交流探头或 2 个直流探头，宽频带的直流感测探头主要针对周围环境有直流磁场干扰的情况，如电车或火车所产生的干扰。SC24 并不会对整个房间做改善，它只会在感应探头附近做磁场削减，磁场削减的大小及范围主要是根据磁线圈的设计及产生的反向磁场均匀性来决定的。

三、SC26：高 端先进之选

SC26 作为主动式消磁器的高 端型号，在性能上更上一层楼。它能够消除 AC 交流磁场和 DC 直流磁场，消除磁场范围为 DC - 60000Hz，磁场变化反应时间小于 10 微秒，操作介面也是触控式 LCD 彩色面板。在使用场景方面，SC26 适用于对磁场消除要求极高的电子显微镜和电子束量测设备环境。其快速的反应时间和更广泛的消除磁场范围，能够满足严苛的磁场干扰消除需求。

综上所述，SC22、SC24 和 SC26 三种型号的主动式消磁器各有其独特的功能特点和适用场景。用户可以根据自己的实际需求，选择适合的型号，以确保电子显微镜和电子束量测设备的高效运行。‍