应用专栏

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主动式双消磁系统:解决铁电材料研究中的磁场干扰问题
2024-02-16
提升透射电镜在严苛环境下的极限分辨率。当电子显微镜需要使用较高倍率的操作时,其性能可能受各种外部环境因素影响,像是振动、温度变化等等,这些环境干扰限制了电子显微镜影像的质量和分辨率。其中,磁场干扰更是常见且难以纠正的问题,通常会需要将精密仪器设置在不影响实验室工作流程的「较无干扰」位置。幸运的是,可以使用主动消磁系统来...
电镜环境量测系统如何选择?场地分析SC11、长期监测SC28
2023-04-07
在许多情况下,我们必须对环境做量测或监控,以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如:在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。多年来专注于提供环境干扰解决方案的英国品牌 Spicer Consulting...
如何提高电子束微影的良率:掌握消磁器选择的关键
2023-04-07
2023年半导体虽然面临后疫情时代的市场挑战,先进制程微缩仍是半导体制造业的发展趋势,其中电子束微影(Electron Beam Lithography,简称EBL)更是具潜力发展的技术之一,其应用范围包含:微小电子元件、生物芯片、光学元件、量子器件、奈米结构材料、微型机械结构等领域。因此,如何在复杂技术中提高良率以降...
突破电子显微镜成像瓶颈—新SC24 Plus全面监控多种环境干扰、消除EMI问题
2023-03-31
在半导体产业中,电子显微镜是品质控管(Quality Control,简称QC)的重要工具,工程师们透过电子显微镜对晶片做微观结构分析,找出可能存在的问题与缺陷,以优化产品制程。随着微电子元件、微控制器的「微」时代来临,半导体制程需要更高倍率、更高解析的成像品质。然而,来自于外部环境的众多干扰,让高解析度成为一项挑战。...
电子显微镜的安装规划 – 如何减少或消除干扰
2023-11-30
一个电子显微镜稳定的环境条件建立,其关键是由专门服务提供者或设备供应商进行严格的安装前检查,确保是否有影响成像品质的任何外在因素。 通常,会包括测量声级和 X、Y、Z 方向的磁场及地面振动,并与要安装的设备环境规格进行直接比较,如必要时,可以采取行动来减轻任何不需要的干扰。例如,通过安装主动式磁场消除系统或主动式防震台...
最全面的半导体、实验室及工业设备消磁选择:Spicer Consulting电磁干扰解决方案
2023-03-25
当电磁波与各种电子设备、通讯系统、电梯或交通工具(如:火车、捷运)等相互作用时,可能会产生不良效应,导致设备出现异常或故障,统称为电磁干扰(Electromagnetic Interference,简称EMI)。为了保障设备维持正常运作,就需要消磁器来解决电磁干扰问题。您也有电磁干扰问题需要解决吗?众多消磁器中不知哪一...
Spicer SC26 主动式消磁器 改善300mm线上电子束检测设备磁场干扰问题
2020-11-24
进入300mm晶圆厂中不难发现,当晶圆运输天车在运作过程中,将会产生9 kHz的磁场干扰,严重影响周遭电子束检测设备的性能,成为提升半导体CD节点技术的阻碍之一。 『Spicer Consulting SC26型』透过系统的线圈对环境磁场进行负反馈的磁场来稳定机台运行的磁场稳定,恢复电子束检测设备的性能。Spicer主...
Spicer SC24 主动式消磁器 大幅降低实验室AC、DC磁场干扰问题
2020-11-17
在使用电子显微镜的过程中,无可避免地处于地球磁场以及各式电力、机械设备的环境中运行。当环境磁场发生变化时,会造成电子显微镜中的电子束偏转,进而导致机台的分辨率和测量精准度下降。 『Spicer Consulting SC24型』透过系统的线圈,对环境磁场进行负反馈,来稳定机台运行的环境磁场,恢复机台最高品质的成像结果。...
主动式消磁器的作用
2024-05-16
Spicer Consulting品牌所生产的系列主动式消磁器设备,为解决电磁干扰(EMI)等问题而设计。以SC26型号消磁器举例来说,它可在一定范围内,起到同时消除AC交流磁场、DC直流磁场干扰的作用,这意味着,无论是交流还是直流的磁场干扰,SC26都能有效应对。该消磁器的核心技术在于其即时监测和主动生成“反向磁场”...
主动式减震台工作原理
2024-05-16
Herz主动式减震台 AVI Series 的工作原理主要是基于实时动态反馈的主动控制技术,这种技术使得它能够在各种环境中有效地隔离和减少振动干扰。其核心组件包括控制器单元、主动式感应脚座、承载钢构组。同时,其高度的用户自定义能力使得它能够适应各种复杂的应用场景,为用户提供更加稳定和可靠的工作环境。首先,Herz AV...