磁场测试、震动测量、噪声检测等仪器如何选?科技大厂选择Spicer智能检测仪的原因
2024-06-14

环境干扰会影响电子束设备运作而导致检测结果精准度下降,若是置之不理甚至可能影响到整体制程、让成本大幅上升。因此,不论是实验室要安装电子束设备的场地勘察、厘清以改善干扰源造成的设备故障、长期监控环境参数等等都会有环境量测的需求。 


英国环境改善专家Spicer Consulting的智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用,测量包含CD-SEM、EBL或是其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。市面上环境量测工具五花八门,Spicer的智能检测仪成为各家首选的原因在于:



【Spicer检测仪】磁场强度测试误差小

测量磁场干扰一般包含:磁场强度、磁场方向及磁场变化。常见的磁场强度测试仪器包含:磁强计、霍尔效应传感器、线圈探头等。


Spicer系列的智能检测仪可X、Y、Z三个方向同时量测,故取得的数据较为精准。相较于一般磁场强度测试仪若仅能一次测量一个方向,容易因为短时间的磁场变化而产生些微误差,加上每测量一个方向后都需重新归零,也增加了人为因素导致的数据误差。


此外,Spicer系列的智能检测仪侦测出的数据不含地磁,若是在需要确保测试结果不受地磁干扰的一些应用上,会比包含地磁数据的一些磁场强度测试仪更适合。



Spicer检测仪追踪环境干扰源头,检测介面量测出火车的干扰影响甚大。

Spicer检测仪追踪环境干扰源头,检测介面量测出火车的干扰影响甚大。



【Spicer检测仪】振动三轴测量更全面准确

测量振动干扰包含:振动幅度、频率、速度、加速度及位移。


在振动测量上,Spicer系列的智能检测仪同样具X、Y、Z三轴同时量测的优势,并提供振动幅度、频率、速度、加速度及位移等多个方向上的振动参数。相较于单轴的振动测量仪,Spicer检测仪可取得更为准确的资讯。



【Spicer检测仪】多功能集成的智能软件-磁场、震动、噪声测量一并搞定

磁场强度测试仪、振动测量仪、噪声检测仪等设备分开采购令人头痛,市面上虽有部分设备商可依需求加装不同测量配备,但在软件上如未整并完全,在数据分析上仍有储多不便。


Spier检测仪可测量磁场、震动和噪音(SC28还可多测量温度与湿度),更重要的是,其内建智能软件可整并所有侦测的环境干扰源数据,当下即可看测量的参数变化。



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Spicer智能检测仪-SC28同时查看磁场、震动、噪音数据



Spicer智能检测仪量测服务方案

我们独家代理Spicer Consulting的智能检测仪包含SC11、SC28,同时也提供这些设备的环境量测服务(长期/短期)方案,可侦测磁场、震动、噪音、温度、湿度干扰源。欢迎与我们联系



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勀杰科技有限公司-环境改善部门



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