随着高科技产业的蓬勃发展，精密仪器需求日益提高，但外部磁场干扰却可能导致这些设备出现故障或无法正常工作，这就需要用到消磁器。消磁器是一种用于消除磁场影响的设备，根据工作原理可分为主动式和被动式消磁器。其中SC26是勀杰科技旗下的一类主动式消磁器，针对半导体制程(300mm晶圆厂)设计，下面对其进行简单介绍。

1、消磁原理

SC26通过独特的主动式消磁系统，可实时监测周边是否有磁场干扰，当侦测到干扰磁场时，可主动生成反向磁场来消磁，可为SEM、TEM以及相关高精密仪器不受EMI电磁干扰。

2、消磁范围

SC26可用于消除AC交流磁场和DC直流磁场兩種磁场干扰。其中AC交流磁场的消磁范围是2.5 Hz–60000 Hz，而DC直流磁场的则为–60000 Hz。一旦侦测到有干扰磁场后，瞬间的反应时间是在10微秒以内，消磁速度比较快。

3、操作

其操作界面是触控式LCD彩色面板，而通过太网和USB端口可进行远端操作和即时监控，操作更加简单、方便。SC26主动消磁系统经安装后，在正常使用情况下，无需额外人工干预来维持运作。

4、应用场合

其应用场合可分为房间型和框架型。其中房间型主要适用于TEM、新建厂房、实验室，而框架型适用于各类设备仪器，比如电镜仪器、EBL、CD-SEM。技术团队会先了解相关问题及需求，再依实际情况评估给予专业建议。

除了SC26之外，勀杰科技的主动式消磁器型号还有SC22、SC24，可消除磁场范围和反應时间等都有所不同。因此，需要根据自己的需求来选择。

SC26主动式消磁器是通过系统的线圈对环境磁场进行负反馈来实现消磁，能够有效解决AC交流 / DC直流磁场干扰。与被动式消磁相比，其消磁效果好、能提供更稳定的磁场环境。因此，目前广泛应用有院校研究室和实验室、半导体的制造研发、高铁周边等环境。