认识「主动式消磁器」与「被动式消磁机」

黄之奕 (Chih-I Huang) 着

在现今高科技研究的快速发展下，很多高性能的电子束机台(例如: SEM扫描式电子显微镜、TEM穿透式电子显微镜…等)被广泛应用在生产、研发、故障除错等阶段，而在使用电子显微镜的过程中，无可避免地会受到地球磁场，以及各式电力、机械设备运行时所产生的磁场所干扰，这种情况称为电磁干扰(Electromagnetic Interference，简称EMI)。而高性能电子束的设备对磁场变化非常敏感，当环境磁场发生变化时，会造成电子显微镜中的电子束偏转，进而导致机台的分辨率和测量精准度下降。

何谓主动式消磁器？

当发生因外在环境因素(即电磁磁场产生)，导致电子显微镜发生精准度下降，或电子成像呈现锯齿状的情况发生时，我们就可以使用环境改善的设备「消磁器」来做处理。

来自英国大厂的Spicer Consulting主动式消磁器，是透过于问题环境中启动消磁器后，每当环境干扰磁场出现时，消磁器本身即主动产生具系统性的线圈磁场，并对环境磁场干扰进行自动负回馈磁场校正，以抵消存在于问题环境中的外在EMI电磁干扰，强化机台运行的稳定性，同时减少环境磁场干扰，因此该设备又被称为「主动式消磁器」。

Spicer Consulting主动式消磁器是即时且动态的，可以对外部磁场变化持续做出自动性的回应，且回应时间小于100微秒，以确保机台运作时的稳定性及清晰的电子成像。