应用专栏​

设备隔振台

设备隔振台AVI 系列做好精密测量的稳定基石

在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成很大的影响,必须改善测量环境,以获得稳定可靠的实验数据。为此,Herz公司推出了其引以为傲的设备隔振台AVI系列,这款集成了尖端科技的减震设备,以其卓越的性能和广泛的应用领域,成为了众多精密仪器不可或缺的稳定基石。

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电镜屏蔽系统

电镜屏蔽系统SC22有效应对AC干扰

在实际使用中,高精度电子束设备对环境磁场及其动态变化极为敏感。环境磁场的干扰会导致电子束发生偏移,进而降低设备的分辨率和测量精度。而SC22电镜屏蔽系统是一种专门设计用于三维空间的交流磁场补偿系统,它利用传感器监测空间中的交流磁场及其变化,控制器则通过三维空间线圈产生相应的反磁场,

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应用专栏插图2

主动隔振台与被动隔振台有何差异

隔振台广泛应用于电子显微镜、半导体以及显示器制造等各类产业。为了减少环境振动对设备性能的影响,了解主动隔振台与被动隔振台的差异至关重要。被动隔振台利用弹簧和阻尼器的自然特性来减少振动;而主动隔振台则使用带有集成传感器和执行器的控制系统,实现对低频振动更为有效的控制。

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应用专栏插图3

直流磁场干扰对电子显微镜和电子束光刻设备的影响

在电子显微镜或电子束光刻设备附近,直流磁场强度的变化可能降低影像品质(如:导致影像失真、模糊或漂移)并影响生产效率。直流磁场变化的常见来源包括电梯、火车、卡车和金属门。针对这些直流磁场干扰问题的解决方法,通常依据每个实验室的设计和设备配置的不同而有所调整。

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