勀杰科技团队 编译
本篇文章译自：https://www.vibeng.com/blogs-and-case-studies/how-emi-cancellation-systems-work/
EMI消除系统旨在消除影响电子显微镜效能的电磁干扰 (EMI)。该系统利用感测器、控制器和线圈回路来监测电子束周围的环境磁场，并产生相等且相反的磁场，以抵消可能对影像造成干扰的EMI。
显微镜类型、实验室布局、磁场类型和邻近设备均会影响EMI消除系统的设计与安装。勀杰科技团队可根据需求客制化解决方案。
EMI消除系统的工作原理
EMI消除系统侦测电子束柱或感测器位置的磁场。通过精密设计的线圈布局，该系统能够生成与环境磁场相等且方向相反的磁场，使环境磁场与EMI消除系统产生的磁场互相抵消，达到消除效果。
此过程类似于降噪耳机透过检测环境噪音来消除噪音。对EMI消除系统而言，结果是减轻环境磁场对电子显微镜影像或电子束设备的负面影响。
磁场消除系统的三个组成部分
感测器 – 感测器负责侦测磁场并向控制器发送讯号，测量环境中磁场分量的频率和幅度。
控制器 – 控制器从感测器收集数据，并透过围绕显微镜或设备的线圈回路发送电流。
磁场线圈 – 流经这些线圈的电流会产生与感测器侦测的环境磁场相等且相反的磁场。工程师将根据显微镜类型、房间布局、磁场类别和强度，以及相邻设备进行线圈最佳化排布。
电子显微镜或电子束微影设备的类型如何影响EMI消除
设备相关因素会影响EMI消除。例如，电子束的长度决定其对外部磁场干扰的灵敏度。电子束越长，所需的磁场消除均匀性就越高。
成像类型也会影响EMI消除。对于较长时间的成像，间歇性直流磁场（如电梯或大型铁磁物体的移动）可能会导致影像或数据失真。但对于短时间成像，这些间歇性干扰影响较小，因为影像可以快速重新拍摄。
房间布局如何影响EMI消除系统
为使磁场消除系统最佳运作，电子显微镜应置于磁场消除环境中央。如果显微镜位于房间中央，则房间线圈可能是最佳选择；若显微镜位于大房间或问题位置，则考虑替代安装。具有外壳的电子显微镜可将线圈布置于内部，此方法适用于多种显微镜或电子束设备。勀杰科技团队可根据具体情况与您探讨最佳方案。
磁场类型和强度如何影响EMI消除系统
在确定最佳消除系统时，磁场类型和强度至关重要。直流磁场所需的感测器和控制器与交流磁场不同，需要针对特定需求进行配置。
磁场强度同样重要。勀杰科技工程师对线圈回路系统进行模拟以优化沿着电子束柱的磁场消除效果。性能模拟有助于确保系统适应影响显微镜的磁场大小和类型。
相邻设备和房间对EMI消除系统的影响
由于磁场消除回路会产生磁场来抵消显微镜周围的磁场，在设计EMI消除系统时必须考虑相邻设备的影响。相邻房间的磁场消除系统甚至会互相干扰。
勀杰科技工程师有多种方案可确保多个磁场消除系统不会互相干扰或影响相邻显微镜的正常运作，我们进行设计和模拟以保证磁场消除效果及多系统协同运作。
结论
安装EMI消除系统是一个复杂过程，受多种因素影响。与拥有超过15年经验的环境解决方案提供商合作会有所帮助。勀杰科技可根据您的特殊要求设计和安装磁场消除系统。
如果您有任何疑问或想讨论贵单位的特殊需求，请立即与我们联系！
