进入300mm晶圆厂中不难发现，当晶圆运输天车在运作过程中，将会产生9 kHz的磁场干扰，严重影响周遭电子束检测设备的性能，成为提升半导体CD节点技术的阻碍之一。 『Spicer Consulting SC26型』透过系统的线圈对环境磁场进行负反馈的磁场来稳定机台运行的磁场稳定，恢复电子束检测设备的性能。
Spicer主动式消磁器SC26的组成包括一个控制器，一个或两个200 kHz磁场传感器和一组三轴线圈，用以优化电子束检测设备的性能。另外可使用扩充组合接头，将SC26与SC24的磁场传感器合并使用，更能大幅解决DC直流电干扰。 Spicer SC26主动式消磁器是即时动态的，针对外部磁场变化为自动回应，回应时间小于10微秒。
SC26主动式消磁器不能采用像SC24一样可以将其线圈安装在机台整个房间内的安装方式，通常直接安装在电子束检测设备机柜内部进行运作。
Spicer SC26 主动式消磁器特点：
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使300 mm晶圆厂中的电子束检测设备的环境磁场维持稳定状态
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同时消除AC交流磁场以及DC直流磁场干扰
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适应10μs之内的磁场幅度和频率变化
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触控式萤幕介面(UI)
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针对外部磁场改变的瞬间反应时间为10微秒以内
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監具有USB连接口提供监控
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