勀杰科技团队 整理
在高科技飞速发展的今天，半导体制造业作为信息技术的基础支撑，对生产环境的洁净度和磁场控制提出了极高的要求。特别是在300mm晶圆的生产线上，晶圆运输工具在高速移动过程中产生的高频磁场若得不到有效管理，将直接影响电子束设备的精度和稳定性，进而影响芯片的生产质量和良率。为了应对这一挑战，主动消磁设备应运而生，其中SC26以其卓越的性能和广泛的应用，成为了半导体制造领域磁场管理的佼佼者。
SC26作为第四代磁场抵消系统，是主动消磁设备领域的一次重要革新。它不仅继承了前几代产品的优点，更在消磁效率、智能控制、适应性和易用性等方面实现了显著提升。该系统专为300mm晶圆厂设计，特别优化了针对晶圆运输工具在9kHz频率下产生的高频磁场的抵消能力，确保了电子束设备的稳定运行和芯片生产的高精度。
SC26的工作原理基于宽带模拟负反馈技术，通过嵌入式微型计算机控制系统对测量磁场进行数字化处理，并实时生成反向磁场以抵消干扰磁场。与传统消磁系统相比，SC26在反馈回路的设计上更加精细，能够更快速、更准确地适应磁场幅度的变化和频率的波动。其控制单元具备两个传感器输入端，支持单传感器或双传感器工作模式，当检测到两个传感器时，将启用混频器功能，进一步提升了系统的灵活性和适应性。
SC26配备了触摸屏智能用户界面，用户可以通过简单的操作实现自动设定和直流复位功能。界面上同时显示交流及直流磁场数值，并支持Tesla或Gauss等不同单位的切换，使得磁场管理更加直观和便捷。此外，系统还内置了测试场发生器，方便用户进行设备校准和性能验证。
为了满足半导体制造厂对设备远程管理的需求，SC26配备了以太网和USB端口，支持远程操作和监视功能。这意味着工程师可以在控制室内通过电脑对SC26进行实时监控和调整，大大提高了生产效率和设备管理的便捷性。
SC26作为主动消磁设备的代表之作，在半导体制造领域发挥着至关重要的作用。其卓越的性能、智能的控制功能和广泛的应用场景，使得SC26成为了磁场管理的首选方案。随着半导体制造业的不断发展，SC26将继续发挥其独特优势，为芯片的高质量生产保驾护航。勀杰科技作为该品牌作为中国唯一代理商，致力于将SC26的优秀性能和先进理念带给更多的中国客户，共同推动工业制造业的发展和创新。
