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Spicer SC26 主动式消磁器 改善300mm线上电子束检测设备磁场干扰问题

SC26 Magnetic Field Cancelling System

进入300mm晶圆厂中不难发现,当晶圆运输天车在运作过程中,将会产生9 kHz的磁场干扰,严重影响周遭电子束检测设备的性能,成为提升半导体CD节点技术的阻碍之一…

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Spicer SC24 主动式消磁器 大幅降低实验室AC、DC磁场干扰问题

SC24 Magnetic Field Cancelling System

Spicer Consulting SC24 主动式消磁器能同时减少AC交流电和DC直流电的磁场干扰,,包含来自电梯、火车、交通工具和其他机台干扰,使电子显微镜恢复最高品质的成像结果。针对外部磁场变化为自动回应…

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