在许多情况下，我们必须对环境做量测或监控，以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如：在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具，用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成，然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响，如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化，以帮助研究员选择对应的解决方案，成为了现代科学中一门重要的课题…

Electron microscopes (EMs) are vital quality control (QC) tools in semiconductor production, helping manufacturers to guarantee a high standard of product. However, the precision of EMs and the resolution of resulting images can be hindered by external interruptions, such as acoustic noises, vibrations and magnetic fields.

The unparalleled magnification capabilities of electron microscopes (EMs) make them indispensable for applications requiring nanometre scale imaging.