智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用，用于测量包含CD-SEM、EBL或其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。多功能整合的智能软体满足：磁场强度测试、震动三轴测量、声音分贝检测，当下即可看测量的参数变化。

磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发，其工厂通常采用吊顶式单轨系统，以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工，这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场，这对成像品质产生极大负面影响，必须将其消除以提高解析度，恢复电子显微镜原有的效能。

在Spectra 300 TEM上安装了2X SC24主动双消磁系统后，外部干扰已经明显改善。透过四颗磁场探头所取得的资料，可见在高度3公尺至0.5公尺范围内不论是X、Y、 Z方向其数值皆低于20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁场干扰影响，而能以最高倍率运作、取得高品质影像。

为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质，制造商的环境规范变得越来越严格，配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰；在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下，可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。