勀杰科技团队 整理
主动消磁器在现代科技领域，尤其是在电子束设备的应用中扮演着至关重要的角色。随着电子束设备对环境磁场及其动态变化敏感性的增加，主动消磁器成为了确保设备性能稳定的关键组件。在众多主动消磁器型号中，英国Spicer推出的SC22、SC24和SC26以其优越的性能和广泛的应用范围，成为了众多实验室的优选。
SC22主动消磁系统是一款专为解决电子束设备因环境磁场干扰导致的分辨率和测量精度下降问题而设计的产品。它采用三维空间内的交流磁场补偿技术，通过传感器感知空间环境中交流磁场及其变化量，然后利用三维空间线圈提供反磁场，从而有效抵消环境磁场的影响。SC22的工作频率范围覆盖0.5Hz至5kHz，能够显著改善市电50Hz或60Hz的交流背景磁场，使其影响降低50倍。该系统具备智能用户界面，操作简便，支持自动运行和连续实时补偿磁场，确保电子束设备始终处于最佳工作状态。此外，SC22还提供高灵敏度传感器，支持双传感器配置，以应对TEM透射电镜和高突变环境磁场的挑战。
SC24主动消磁器采用了先进的动态磁场稳定技术，通过实时创建几乎相等且相反的场变化来抵消环境磁场对电子束设备的影响。SC24系统包括磁场控制单元、一个或两个磁场传感器以及三根正交轴多芯电缆，安装灵活，适用于各种实验室环境。其独特的触摸屏智能用户界面，不仅提供了直观的操作体验，还支持自动设置和直流复位功能，大大简化了操作流程。SC24能够在100微秒内自动响应磁场变化，确保电子显微镜等精密仪器始终处于最佳性能状态。
SC26主动消磁器作为第四代磁场抵消系统，SC26被优化用于抵消300mm晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场，消除范围在2.5-60000Hz中。它采用了嵌入式微型计算机控制系统，对测量磁场进行数字化处理，并通过宽带模拟负反馈技术产生反磁场。SC26具备实时宽带消除从DC到>9kHz的磁场能力，能够在10微秒之内适应磁场幅度和频率变化，确保电子束设备在复杂多变的电磁环境中稳定运行。此外，SC26还提供了混合式双传感器配置，可在EM模块里产生一个虚拟感应器，进一步提升了消磁效果。
SC22、SC24和SC26主动消磁器以其独特的技术优势和广泛的应用范围，在电子束设备领域发挥着重要作用。无论是追求高分辨率和高精度的电子显微镜，还是需要稳定磁场环境的电子束曝光系统，勀杰科技作为Spicer在中国的独家代理，都能提供有效的解决方案和高质量产品，确保设备性能的稳定性和可靠性，积极为客户服务。
